液质联用氮气发生器利用高压空气在高精密度中空纤维膜分离柱中分离制得高纯度氮气的仪器。中空纤维膜分离柱中，纤维状的膜材料组成的致密空间内氮气和氧气分子的通过性不同，高压空气通过膜材料时，在进气侧和出气侧形成氮气浓度差，膜分离柱中多重膜材料的依次通过累计放大了这种浓度差，在膜分离柱的进气和出气两端表现出氮气与空气中其它气体的分离，空气经过膜分离柱，得到了高纯度的氮气。
液质联用氮气发生器包括氮氧分离系统、氮气缓冲系统、空气储罐系统、电气控制系统等，下面我们来逐一具体介绍一下。
1.氧氮分离系统：其主体是两个装满碳分子筛的吸附塔，当洁净压缩空气进入一吸附塔时，O2、CO2和微量H2O被碳分子筛吸附，氮气从出口端输出。当一塔在吸附制氮时，另一塔通过减压使吸附在分子筛中的O2、CO2和H2O从微孔中排出，实现分子筛的生脱附。两塔交替进行吸附和生，连续输出氮气，该系统由吸附塔、塔内装填的碳分子筛、气动阀、消声器、节流阀、压紧气缸、压力表等组成。
2.氮气缓冲系统：其主要作用在于均衡从氮氧分离系统分离出来的氮气的压力和纯度，保证连续供给氮气。同时，在吸附塔进行生到吸附切换时，它将存储的部分合格氮气回充吸附塔保护床层，另外也有帮助吸附塔升压的作用。该系统由缓冲罐、流量计、粉尘过滤器、调压阀、节流阀、防护阀等组成。
3.空气储罐系统：保证氧氮分离系统用气平稳，在氧氮分离系统切换时防止瞬间气流流速过快，影响空气净化效果，提高进入吸附器的压缩空气品质，有利于延长分子筛的寿命。该系统由空气储罐、防护阀、截止阀、球阀、压力表等组成。
4.电气控制系统：其作用是设备启停操作、工作状态指示灯显示、故障声光报警指示、纯度显示和按设定程序驱动气动阀。液质联用氮气发生器的电气控制系统由可编程序控制器CPU、气源三联件、电磁阀、指示灯、微氧仪等组成，主要集中安装于电控柜。
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